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                AnPT V30 系列等離子機

                2020-10-14 15:39:39

                V30 系列等離子機

                 

                AnPT-V30

                AnPT-V30X

                生產板尺寸

                板厚

                0.1-12mm (<1mm, 掛架需要定制)

                標準

                22x27(30片)

                25x30”(30片)

                最大

                27x44(15片)

                30x50”(15片)

                Cycle Time

                Desmear

                20-30min

                Desmear+活化

                30-45min

                產能

                Desmear

                60-90 pnl/hour

                Desmear+活化

                30-45 pnl/hour

                均勻性

                >80%

                左中右三槽;每槽5-9個點

                蝕刻速率

                >0.3um/min

                CF4用量(運行成本)

                3%-8% (Desmear)

                真空能力

                極限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工藝真空度200-300mT

                射頻電源

                10KW/40KHz

                10KW/40KHz

                氮氣發生器純度

                99%

                升溫速率

                1-2℃/min; (獨特設計,減少升溫時間)


                優異的均勻性、高產能;低生產成本

                滿足MSAP/HDI,高厚徑比硬板,Flex/Rigid-Flex等各 種產品和工藝制程應用需求,具有良好的工藝性能

                優異的工藝性能,具備較高的處理均勻性和蝕刻速率

                垂直-雙極饋電型電極,保證產品雙面同步均勻處理

                獨特的氣體分配及優化的抽氣導流設計,確保大尺寸及大批量處理的均勻性、高效

                高效、高產能; 滿足日益增長的新產品和新制程對產能的高要求

                可靈活配置電極及氣體分配方案,適應不同尺寸產品及各種載具生產環境的多種工藝需求

                觸控式操作界面,直觀的圖形界面可實時控制監控生產過程及工藝變量

                整機設計緊湊,一體化設計整合各組件于主機器內, 占地面積小

                極低的生產保養成本、維護簡單便捷

                40KHz自適應射頻電源,具有優異的穩定性和工藝可

                重復性



                AnPT V30 系列等離子機



                應用領域

                孔內除膠環氧樹脂Epoxy、聚酰亞胺PI

                Desmear機械鉆孔后孔內膠渣(鉆污)去除

                Etch Back回蝕/凹蝕

                Carbon Removal碳化物去除

                激光成孔盲孔孔內去膠(碳化物)

                Flex柔性板激光切割金手指后邊緣碳化物去除

                PTFE活化,確保高頻、通訊、背板等孔金屬化性能

                Descum精細線路間殘留干膜去除(顯影后殘留)

                綠油殘留、有機物、金屬氧化物去除

                納米級表面粗化、應力釋放

                表面活化與清潔

                表面改性

                層壓前處理改善材料間結合力,消除壓合層分層

                PI粗化,補強前處理,增強補強貼合結合力

                防焊前處理,有效防止涂覆防焊油墨脫落

                絲印字符前處理,保證字符清晰、無脫落

                材料表面活化改性,改善難粘材料間可粘性,提升粘接結合力

                改善材料表面親水性(潤濕性), 提升材料可涂覆性和金屬濺鍍性

                 

                V30系列適用于PCB/FPC/MSAP/Substrate等各種基材和多種應用需求




                AnPT V30 標準技術規格

                 

                設備尺寸及

                規格

                長x寬x高

                V30:1960x1450x1960(mm)

                V30X:1960x1585x2135(mm)

                凈重

                V30S 1450Kg; V30 1700Kg; V30X 1800Kg

                工藝腔體

                腔體尺寸(長x寬x高)

                V30S 34x34x38(in.)

                V30 34x45x38(in.) V30X 34x52x38(in.)

                處理槽數

                15 槽

                電極

                電極尺寸

                有效處理面積

                V30S 33x26(in.) V30 44x27(in.)

                V30X 50x30(in.)

                電極類型

                柵欄式標準溫控電極

                射頻電源

                功率規格

                5KW /10KW /10KW

                頻率

                40KHz

                氣體控制

                標準規格

                其它可選配

                標準_5slm,2slm,0.5slm 選配_2slm,2slm

                質流量計最多可配置數

                5

                真空泵

                干式真空泵

                GXS160/1750F HV MD RE CA

                冷卻水流量

                3slm

                凈化氮氣流量

                10slm

                控制系統

                人機界面

                PLC+觸屏人機界面

                 

                 

                 

                廠務要求

                供電需求

                380V,50A,三相四線,50Hz

                工藝氣體接口

                1/4 in.(6.35mm) 卡套接口

                工藝氣體種類及純度

                CF4=99.999%; O2=99.999%; N2=99.999%;

                H2=99.999%; Ar=99.999%

                工藝氣體供應壓力

                20psi((0.15MPa)

                凈化氮氣接口

                1/4 in.(6.35mm) 卡套接口

                凈化氣體純度

                99.9%

                凈化氣體供應壓力

                20psi((0.15MPa)

                壓縮空氣接口類型

                1/4 in.(6.35mm) 卡套接口

                壓縮空氣要求

                潔凈、干燥

                壓縮空氣供應壓力

                80-100psi

                尾氣接口

                NW40

                電極冷卻水

                蒸餾水

                冷卻水接口

                RC 1/2in.(12.7mm)

                選配設備

                氮氣發生器

                35L/min(2立方米/小時)

                冷水機

                25KW制冷量

                380V,三相,6.5KW

                廢氣塔

                220V,單相


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