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H17 等離子機
2020-10-14 15:50:37
特點和優勢
§ 特別適合 FPC, COF,ACF 以及 IC 載板生產
§ 應用于
ü 表面清潔、去氧化
ü 活化改性，提升附著力和可涂覆性
(絲印、噴碼、化金、壓合/膜、貼鋼片/強)
ü 除膠，除綠油、顯影殘留
§ 均勻性好，產能高
§ 一體式掛架可水平裝載 FPC 或基板，裝載快捷簡便
§ 設計緊湊實用，生產高效經濟;占地面積小，耗氣量低
§ 實時溫控電極確保工藝穩定和可重復性
§ 操作簡單，維護便捷
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型號 |
AnPT-H17 |
AnPT-H17D |
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生產板尺寸 |
板厚 |
0.1-12mm |
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電極尺寸 |
850x530mm |
525x830mm |
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層數 |
17 |
34 |
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Cycle Time |
Desmear |
15-20min |
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表面清潔活化 |
10-15min |
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產能 （830x250mm) |
Desmear |
90-130pnl/hour |
150-220 pnl/hour |
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表面清潔活化 |
130-180 pnl/hour |
250-350 pnl/hour |
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均勻性 |
>80% |
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上中下三槽；每槽 5-9 個點 |
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蝕刻速率 |
>0.3um/min |
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CF4 用量(運行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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真空能力 |
極限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工藝真空度 200- 300mT |
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射頻電源 |
10KW/40KHz |
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氮氣發生器純度 |
99% |
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規格
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整機尺寸 |
長 x 寬 x 高 |
1000 長 x 1200 寬 x 1780 高 mm |
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凈重 |
2500 kg |
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地面承重 |
設備總重1.7T，沉重0.6T/m2 |
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工藝腔 |
載板能力 |
17 層或 34 層 |
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射頻電源 |
標配功率 |
10 kW |
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頻率 |
40 kHz |
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氣體控制 |
氣體 |
導電棒分布兩側，工藝氣體從前腔門進，腔體背部排氣 |
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可選流量計 |
500, 1000, 2000 or 5000 sccm,標配 2 路 |
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最多可配流量計數量 |
5 |
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電氣控制 |
人機界面 |
PLC+Windows 系統電腦，觸屏式 |
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真空泵組 |
漢中 |
PS902，品牌漢鐘，產地上海，極限壓力10mTorr,最大抽速900立方每小時 |
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標準泵組能力 |
630 cfm |
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冷卻水要求 |
5 slm |
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氮氣要求 |
14 slm |
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廠務要求 |
電源 |
380V,三相四線20kw（設頻滿負荷含附屬設備）， |
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氮氣發生器(選配) |
80-100 psi, 5.3 scfm CDA 6.35mm (1/4 in.) |
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冷水機(選配) |
70000 BTU, 380 VAC, 3 Phase 35-50 Amp, 50/60 Hz |
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尾氣處理塔（選配） |
220V, 38.1mm 接口 |
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尾氣接口 |
NW40 |
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工藝氣體接口 |
6.35 mm (0.25 in.) Swagelok |
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工藝氣體純度 |
CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%; N2 = 99.99%; Ar = 99.999%; H2 = 99.999% |
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工藝氣體壓力 |
1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大) |
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凈化氮氣接口 |
6.35 mm (0.25 in.) Swagelok Tube |
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凈化氮氣純度 |
N2 = 99.9% |
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凈化氮氣壓力 |
1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大) |
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安裝環境 |
溫度40攝氏度以下，濕度85以下 |
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廢氣 |
配備廢氣處理塔或者接入廠務酸排，靜態抽風壓力不低于5psi,寸半抽風管 |
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電極 |
冷卻 |
連個回路交叉通水，進出水方向相反 |
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