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H30 系列等離子機
2022-02-28 14:24:47
H30系列等離子機
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型號 |
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AnPT-H30D |
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生產板尺寸 |
板厚 |
0.03-12mm |
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電極尺寸 |
最大 |
550x630mm |
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層數 |
雙排15*2 |
30 |
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Cycle Time |
Desmear |
15-20min |
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表面清潔活化 |
10-15min |
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產能（500x250mm) |
Desmear |
60pnl/hour |
120 pnl/hour |
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表面清潔活化 |
60 pnl/hour |
120 pnl/hour |
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均勻性 |
>80% |
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上中下三槽；每槽 5 個點 |
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蝕刻速率 |
>0.3um/min |
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CF4 用量(運行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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真空能力 |
極限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工藝真空度 200-300mT |
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射頻電源 |
5-10KW/40KHz |
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氮氣發生器純度 |
99% |
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優異的均勻性、高產能；低生產成本n 滿足MSAP/HDI板,高厚徑比硬板，Flex/Rigid-Flex等各 種產品和工藝制程應用需求，具有良好的工藝性能 n 優異的工藝性能，具備較高的處理均勻性和蝕刻速率 n 垂直-雙極饋電型電極，保證產品雙面同步均勻處理 n 獨特的氣體分配及優化的抽氣導流設計，確保大尺寸及大批量處理的均勻性、高效 n 高效、高產能; 滿足日益增長的新產品和新制程對產能的高要求 n 可靈活配置電極及氣體分配方案，適應不同尺寸產品及各種載具生產環境的多種工藝需求 n 觸控式操作界面，直觀的圖形界面可實時控制監控生產過程及工藝變量 n 整機設計緊湊，一體化設計整合各組件于主機器內， 占地面積小 n 極低的生產保養成本、維護簡單便捷 n 40KHz自適應射頻電源，具有優異的穩定性和工藝可重復性 |
AnPT H30 系列等離子機 |
應用領域n 孔內除膠環氧樹脂Epoxy、聚酰亞胺PI n Desmear機械鉆孔后孔內膠渣(鉆污)去除 n Etch Back回蝕/凹蝕 n Carbon Removal碳化物去除 l 激光成孔盲孔孔內去膠(碳化物) l Flex柔性板激光切割金手指后邊緣碳化物去除 n PTFE活化，確保高頻、通訊、背板等孔金屬化性能 n Descum精細線路間殘留干膜去除(顯影后殘留) n 綠油殘留、有機物、金屬氧化物去除 n 納米級表面粗化、應力釋放 n 表面活化與清潔 n 表面改性 l 層壓前處理改善材料間結合力，消除壓合層分層 l PI粗化，補強前處理，增強補強貼合結合力 l 防焊前處理，有效防止涂覆防焊油墨脫落 l 絲印字符前處理，保證字符清晰、無脫落 l 材料表面活化改性，改善難粘材料間可粘性，提升粘接結合力 l 改善材料表面親水性(潤濕性), 提升材料可涂覆性和金屬濺鍍性
n V30系列適用于PCB/FPC/MSAP/Substrate等各種基材和多種應用需求
n 可配自動化裝板系統 |
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AnPT H30標準技術規格
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整機尺寸 |
長 x 寬 x 高 |
1200 長 x 1200 寬 x 2180 高 mm |
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凈重 |
2500 kg |
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地面承重 |
設備總重1.7T，沉重0.6T/m2 |
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工藝腔 |
載板能力 |
15*2層 |
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射頻電源 |
標配功率 |
10 kW |
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頻率 |
40 kHz |
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氣體控制 |
氣體 |
導電棒分布兩側，工藝氣體從前腔門進，腔體背部排氣 |
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可選流量計 |
500, 1000, 2000 or 5000 sccm,標配 2 路 |
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最多可配流量計數量 |
5 |
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電氣控制 |
人機界面 |
PLC+Windows 系統電腦，觸屏式 |
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真空泵組 |
愛德華 |
GXS160/1750 |
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標準泵組能力 |
630 cfm |
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冷卻水要求 |
5 slm |
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氮氣要求 |
14 slm |
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廠務要求 |
電源 |
380V,三相四線20kw（設頻滿負荷含附屬設備）， |
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氮氣發生器(選配) |
80-100 psi, 5.3 scfm CDA 6.35mm (1/4 in.) |
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冷水機(選配) |
70000 BTU, 380 VAC, 3 Phase 35-50 Amp, 50/60 Hz |
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尾氣處理塔（選配） |
220V, 38.1mm 接口 |
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尾氣接口 |
NW40 |
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工藝氣體接口 |
6.35 mm (0.25 in.) Swagelok |
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工藝氣體純度 |
CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%; N2 = 99.99%; Ar = 99.999%; H2 = 99.999% |
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工藝氣體壓力 |
1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大) |
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凈化氮氣接口 |
6.35 mm (0.25 in.) Swagelok Tube |
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凈化氮氣純度 |
N2 = 99.9% |
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凈化氮氣壓力 |
1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大) |
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安裝環境 |
溫度40攝氏度以下，濕度85以下 |
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廢氣 |
配備廢氣處理塔或者接入廠務酸排，靜態抽風壓力不低于5psi,寸半抽風管 |
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電極 |
冷卻 |
連個回路交叉通水，進出水方向相反 |
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