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AnPT NP001 系列等離子
2022-03-11 09:21:46
優異的均勻性、高產能；低生產成本
n 滿足MSAP/HDI板,Flex/Rigid-Flex等各 種產品和工藝制程應用需求，具有良好的工藝性能
n 優異的工藝性能，具備較高的處理均勻性
n 水平-雙極饋電型電極，保證產品雙面同步均勻處理
n 獨特的氣體分配及優化的抽氣導流設計
n 高效、高產能; 滿足日益增長的新產品和新制程對產能的高要求
n 可靈活配置電極及氣體分配方案，適應不同尺寸產品及各種載具生產環境的多種工藝需求
n 觸控式操作界面，直觀的圖形界面可實時控制監控生產過程及工藝變量
n 整機設計緊湊，一體化設計整合各組件于主機器內， 占地面積小
n 極低的生產保養成本、維護簡單便捷
n 13.56GHz自適應射頻電源，具有優異的穩定性和工藝可重復性
n PCB印刷電路板行業
n COB,COF,IC載板及半導體行業
n LED、LCD、玻璃行業
n 電子行業及工業應用
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AnPT NP001 系列等離子 |
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型號 |
AnPT-NP001 |
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生產板尺寸 |
板厚 |
0.1-12mm (<1mm, 托盤需要定制) |
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三流道 |
220-280×50-116mm（x＊y） |
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四流道 |
220-280×50-85mm（x ＊y） |
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活化 |
10-15秒 |
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抽真空+活化+破真空 |
30-40秒 |
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水滴角 |
＜30° |
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打印值 |
40-50dyne/cm |
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氣體用量 |
O2/Ar 30ml/min；破真空氮氣30ml/min |
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真空能力 |
極限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工藝真空度200-300mT |
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射頻電源 |
500W/13.56GHz |
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氣體純度 |
99.999% |
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應用領域
n 表面清潔-可有效去除產品表面污染物，包括有機物，氧化物…
n 表面活化或改性-活化產品表面，增強表面潤濕性（親水性)和表面能。有效提升附 著力（結合力)
n 表面蝕刻-可去除表面或精細線路間光刻膠/干膜殘留(顯影殘留)
n 綠油殘留、有機物、金屬氧化物去除
n 表面活化與清潔
n 表面改性
l 層壓前處理改善材料間結合力，消除壓合層分層
l 壓膜前處理，改善壓膜附著力，消除不良
l PI粗化，補強前處理，增強補強貼合結合力
l 防焊前處理，有效防止涂覆防焊油墨脫落
l 絲印字符/噴碼前處理，保證字符清晰、無脫落
l 材料表面活化改性，改善難粘材料間可粘性，提升粘接結合力
l 改善材料表面親水性(潤濕性), 提升材料可涂覆性和金屬濺鍍性
AP3系列適用于PCB/FPC/MSAP/Substrate等各種基材和多種應用需求
三通道或四通道可以切換，自動投收板
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設備尺寸及規格 |
長x寬x高 |
1700mm ( L ) × 1250mm ( W ) ×2300mm ( H )
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凈重 |
800Kg |
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工藝腔體 |
腔體尺寸(長x寬x高) |
360*440MM |
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通道數 |
1-4通道可調 |
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電極 |
電極尺寸 有效處理面積 |
240-300mm |
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電極類型 |
腔體式電極 |
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射頻電源 |
功率規格 |
500W |
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射頻頻率 |
13.56GHz |
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氣體控制 |
標準規格
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標準_5slm、 5slm, |
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質流量計最多可配置數 |
2-3 |
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真空泵 |
濕式真空泵 |
PZ60 |
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凈化氮氣流量 |
5slm |
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控制系統 |
人機界面 |
觸屏人機界面 |
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廠務要求 |
供電需求 |
220V,30A, |
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工藝氣體接口 |
快插管徑Φ6 |
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工藝氣體種類及純度 |
O2=99.999%; N2=99.999%; Ar=99.999% |
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工藝氣體供應壓力 |
≤0.6Mpa |
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凈化氮氣接口 |
快插管徑Φ6 |
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凈化氣體純度 |
99.9% |
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凈化氣體供應壓力 |
≤0.6Mpa |
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壓縮空氣接口類型 |
快插管徑Φ6 |
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壓縮空氣要求 |
潔凈、干燥 |
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壓縮空氣供應壓力 |
≤0.6Mpa |
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尾氣接口 |
KF40 |
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